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cn:equipment:iim3000:20_overview [2020/04/24 15:01] winoars 만듦 |
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| - | <callout type=" | ||
| - | ===Specifications=== | ||
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| - | <callout type=" | ||
| - | ===OverView=== | ||
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| - | * IIM-3000可以检测300mm硅晶圆上的各类缺陷，可检测的缺陷类型如下：内部气孔、凸起、通孔。 | ||
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| - | * 先进的缺陷测量和分级算法，可以高速检测各类型的硅晶圆（N, | ||
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| - | * IIM-3000采用专用控制器，可提供最佳的控制性能，以及相当简便的设置和维护工作。 | ||
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| - | * 卓越的定制系统和软件，使IIM-3000可提供稳定可靠的检测结果。 | ||
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