문서 보기Discussion이전 판역링크Add to bookExport to PDF맨 위로 This page is read only. You can view the source, but not change it. Ask your administrator if you think this is wrong. ====OverView==== \\ <callout type="primary"> ===Specifications=== \\ {{ :cn:equipment:eis3000:overview_cn.png?nolink |}} </callout> <callout type="info"> ===OverView=== \\ * IIM-3000可以检测300mm硅晶圆上的各类缺陷，可检测的缺陷类型如下：内部气孔、凸起、通孔。 * 先进的缺陷测量和分级算法，可以高速检测各类型的硅晶圆（N, P-, P+, P++）。 * IIM-3000采用专用控制器，可提供最佳的控制性能，以及相当简便的设置和维护工作。 * 卓越的定制系统和软件，使IIM-3000可提供稳定可靠的检测结果。 </callout>