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• IIM-3000可以检测300mm硅晶圆上的各类缺陷，可检测的缺陷类型如下：内部气孔、凸起、通孔。

• 先进的缺陷测量和分级算法，可以高速检测各类型的硅晶圆（N, P-, P+, P++）。

• IIM-3000采用专用控制器，可提供最佳的控制性能，以及相当简便的设置和维护工作。

• 卓越的定制系统和软件，使IIM-3000可提供稳定可靠的检测结果。