Specifications


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  • IIM-3000可以检测300mm硅晶圆上的各类缺陷,可检测的缺陷类型如下:内部气孔、凸起、通孔。
  • 先进的缺陷测量和分级算法,可以高速检测各类型的硅晶圆(N, P-, P+, P++)。
  • IIM-3000采用专用控制器,可提供最佳的控制性能,以及相当简便的设置和维护工作。
  • 卓越的定制系统和软件,使IIM-3000可提供稳定可靠的检测结果。